磁控等离子溅射仪 MFDC680幂方科技磁控等离子溅射仪

设备简介

_{MFDC680是一款小型直流磁控等离子溅射仪，配有磁控溅射头 和可旋转样品台。此款设配专门制备一些金属膜。}

技术参数

_{输入电压：AC208V~240V,50/60Hz}

_{功率：<2500W}

_{输出：电压:1600VDC;最大电流:150mA}

_{溅射腔体：石英腔体:67mm 0D.x152mmIDx260mm H}

_{溅射头&样品台：}

_{2英寸的磁控溅射头,内部嵌有冷却水管}

_{一个直径为50MM的不锈钢样品台,样品台可转动,旋转速率为:0-5RPM}

_{配有一手动操作的挡板}

_{样品台和靶头之间的距离可以调节,调节范围:60-100MM}

_{控制面板：所有技术参数的设定都在一6英寸的触摸屏上操作}

_{可选配置：}

_{双极旋片真空泵VRD-16，KF25接口}

_{不锈钢波纹管和卡箍}

_{10L/名的循环水冷机}

_{分子泵(可选)：为了达到更好的镀膜效果,可选购分子泵对测射腔体抽真空真空度可达到10-5Torr}

_{靶材(可选)：}

_{要求靶材尺寸:50mmx0.1-0.5mm(厚度)}

_{重量：20KG}

_{质量认证&质保：}

_CE认证

_{一年质保期,终生维护}

_{可溅射靶材:Au,Al,Cr,Ni,Pt,Ti,Sn等}